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            批量式電漿輔助氣相沉積設(shè)備

            簡(jiǎn)要描述:批量式電漿輔助氣相沉積設(shè)備為一種使用化學(xué)氣相沉積技術(shù),可為沉積反應(yīng)提供能量。與傳統(tǒng)的CVD方法相比,可在較低的溫度下沉積各種薄膜且不會(huì)降低薄膜質(zhì)量。

            • 產(chǎn)品型號(hào):
            • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
            • 更新時(shí)間:2024-07-10
            • 訪  問  量:775

            詳細(xì)介紹

            品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池

            批量式電漿輔助氣相沉積設(shè)備(Batch Type Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)為一種使用化學(xué)氣相沉積技術(shù),可為沉積反應(yīng)提供能量。與傳統(tǒng)的CVD方法相比,可在較低的溫度下沉積各種薄膜且不會(huì)降低薄膜質(zhì)量。

            此系統(tǒng)為專對(duì)派瑞林(Parylene)所設(shè)計(jì),其腔體內(nèi)部具有公自轉(zhuǎn)知特性,並批量式生產(chǎn)。而Parylene薄膜具有高均勻性、高填孔特性、高穿透性…等特性??蓱?yīng)用於光電元件封裝、電路板絕緣…等。

            批量式電漿輔助氣相沉積設(shè)備參數(shù):

            應(yīng)用領(lǐng)域腔體
            • 醫(yī)療和商業(yè)產(chǎn)品的耐磨薄膜

            • 封裝、絕緣

            • 防刮顯示屏

            • 客製化的腔體尺寸,取決於基板尺寸和其應(yīng)用

            • 通過使用水冷、水熱系統(tǒng)或加熱器來控制腔體溫度


            配置和優(yōu)點(diǎn)選件
            • 客製化的基板

            • 多載片

            • 優(yōu)異的薄膜均勻性小於+-3%

            • 精準(zhǔn)流量控制器,氣體分佈高度均勻

            • 使用電容式藕荷電漿(CCP)





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