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            FPD-PVD磁控濺鍍?cè)O(shè)備

            簡(jiǎn)要描述:FPD-PVD磁控濺鍍?cè)O(shè)備針對(duì)中小尺寸的需求開(kāi)發(fā)串集的PVD 設(shè)備,擁有4個(gè)單獨(dú)的濺鍍腔體,讓客戶能任意搭配沉積的材料,同時(shí)保有彈性和具有選擇性的系統(tǒng)。

            • 產(chǎn)品型號(hào):
            • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
            • 更新時(shí)間:2024-07-10
            • 訪  問(wèn)  量:712

            詳細(xì)介紹

            品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池

            FPD-PVD磁控濺鍍?cè)O(shè)備

            隨著LCD面板和製造所需玻璃的尺寸的增加,製造設(shè)備也隨著變得更大,需要越來(lái)越大的設(shè)備投資。SYSKEY針對(duì)中小尺寸的需求開(kāi)發(fā)串集的PVD 設(shè)備,擁有4個(gè)單獨(dú)的濺鍍腔體,讓客戶能任意搭配沉積的材料,同時(shí)保有彈性和具有選擇性的系統(tǒng)。

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            FPD-PVD磁控濺鍍?cè)O(shè)備

            應(yīng)用領(lǐng)域
            • TFT-LCD

            • 太陽(yáng)能電池。

            • 觸碰屏

            • 氧化物、氮化物和金屬材料的研究


            配置和優(yōu)點(diǎn)選件
            • 客製化基板尺寸最大為550 x 650 mm2(玻璃)。

            • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±5%。

            • 穩(wěn)定的溫度控制,可將基板加熱到400°C

            • Cassette傳送站。

            • 基材電漿清潔

            • OES、RGA或製程監(jiān)控的額外備用

              端口。


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