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等離子干蝕刻退火爐

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詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池

串集多腔鍍膜設(shè)備是一組真空腔系統(tǒng)，這些真空腔系統(tǒng)通過位於系統(tǒng)中心的傳輸腔相互連接。從基材的清潔、鍍膜與封裝的所有過程都在不破壞真空的環(huán)境下連續(xù)進(jìn)行。所有這些過程使外部環(huán)境的影響最小化，以防止在沉積的過程中基板表面氧化，並為元件製造提供了最大效率。

Syskey可根據(jù)客戶要求提供多腔體鍍膜系統(tǒng)。我們的系統(tǒng)通常包含濺鍍、蝕刻、PECVD、熱蒸發(fā)、ALD、退火、電漿清洗和冷卻系統(tǒng)，這些系統(tǒng)可用於FPD、電子行業(yè)、太陽能電池和半導(dǎo)體行業(yè)。

串集多腔鍍膜設(shè)備參數(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域	腔體
半導(dǎo)體行業(yè)。太陽能電池。 LED。有機(jī)發(fā)光二極體。有機(jī)光伏打電池。平板顯示器。	客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸和應(yīng)用。帶有機(jī)械手臂的鋁製腔體，用於在腔體之間的傳送。
	選件
	濺鍍。 PECVD。乾蝕刻。 ALD/ PEALD。電漿清洗。熱退火。電子束蒸發(fā)。熱蒸鍍

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